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기술자료

진공펌프의 종류

2014.06.26 20:21

우성주식회사 조회 수:38907

진공펌프의 종류는 아주 다양합니다.

 

저 같은 경우는 입사하기 전 진공펌프라 하면 단순히 진공청소기?? 정도로 생각했는데, 입사하고나니 꽤 많은 종류가 있어 항상 새로웠던 기역이 나네요

 

일단 종류를 구분하는데 있어 여러 가지가 있지만, 일반적으로 구분하는 방법으로 이야기해 보겠습니다.

 

우선 도달 진공도(압력)에 따라 구분을 많이 합니다.

진공 압력은 torr 기준으로 보겠습니다.

 

760torr에서 0torr 영역 에어 이젝터 (에어압 및 노즐에 따라 편차 발생)

760torr에서 150torr 영역 수봉식 펌프

760torr에서 0.1torr 영역 1단형 오일 로타리 펌프

760torr에서 0.001torr 영역 2단형 오일 로타리 펌프

여기까지를 흔히 베이스 펌프라고 이야기 합니다.

이후 부터는 베이스 펌프에서 진공압을 더 낮추기 위해 사용되는 펌프입니다.

 

0.01torr에서 0.00001 torr 유 확산 펌프

여기까지가 일반적인 양산현장에서 주로 사용되는 펌프입니다.

간혹 좀더 낮은 진공을 얻는 작업에서는 터보펌프도 사용이 되지만, 일반적으로 양산에 주로 많이 쓰이는 펌프입니다.

 

여기에 특수목적을 위해 진공을 더 높이게 되면 크라이오 펌프, 이온펌프, 분자 펌프 등 더높은 압력을 얻기 위해 사용되기도 합니다.

최고로 높이면 우주상태와 비슷하게까지도 올린다고 하네요.

(가물가물 하지만 우주의 진공이 torr 기준 10x⁻¹⁷, 이라 합니다. 소수점이후로 0이 17개내요)

요즘은 반도체장비들이 활성화되어 오일로타리 펌프를 대체해 건식 펌프 혹은 드라이 펌프로 대체되어 사용기도하지만, 아직도 높은 가성비로 인해 오일식 펌프가 많이 사용되지요

 

물론 오일식과 건식펌프의 장단점도 있기에 필요에 의해 사용되기도 하지만 목적을 제외하고 가성비로 본다면 오일로타리가 높은건 사실인 듯 합니다.

 

압력에 의해 구분은 이렇고 좀더 나누면 구동방식에 의해서 직결형, 밸트형 으로 나누고

수봉식, 유봉식으로도 나누며, 좀전과 같이 오일식 혹은 wet 타입, 건식 dry 타입 등

다양한 종류가 있습니다.

 

하지만 종류 별도 장단점이 있기에 무엇보다 중요한건 사용하시는 목적!! 목적에 따라 구매하시고 장단점 또한 알아보시고 구매하신다면 가장 적절한? 구매일 듯 합니다.